一种多感官集成的电子皮肤及其制造方法

摘要

一种多感官集成的电子皮肤，由若干个设置在柔性基底上的电子感官单元组成，电子感官单元的主体是一个以电阻为负载并采用共源极接法的有源场效应晶体管，可同时实现触觉感官的测力功能、温度感官的测温功能和距离感官的测距功能。本发明可模拟人类皮肤的几种基本功能，具有良好的弹性和延展性，可贴合在机械手表面，判断和收集目标物体的形状、大小、材质、软硬程度等一系列物理特性以及温度、距离信息，为智能机械手或机器人完成一系列精细、高难度动作提供数据支持和基础保证。

主权项

一种多感官集成的电子皮肤，包括至少一个电子感官单元，所述电子感官单元包括栅电极(1)、有源半导体层(2)、源电极(3)、弹性绝缘层(6)和漏电极(7)，其中所述弹性绝缘层(6)位于所述栅电极(1)和有源半导体层(2)之间，所述源电极(3)和漏电极(7)对称的分布在有源半导体层(2)下方，构成一绝缘层厚度可变的有源场效应晶体管。