一种半导体熔炉加热器固定装置

摘要

本发明公开了一种半导体熔炉加热器固定装置，其设置在熔炉内部，所述的熔炉内壁沿轴向间隔安装有若干圈加热线路，该装置包含：若干支支撑杆，其分别固定设置在所述加热线路上；支撑杆包含若干依次相连的第一支撑体及若干依次相连的第二支撑体，每个第一支撑体分别对应拼接在第二支撑体上。支撑杆数量至少为16支。该固定装置采用两块独立的支撑体固定加热线路，加强了支撑杆的承受强度，同时增加支撑杆数量，减小了加热线路扭曲及触碰的故障率。

主权项

一种半导体熔炉加热器固定装置，其设置在熔炉（1）内部，所述的熔炉（1）内壁沿轴向间隔安装有若干圈加热线路（2），其特征在于，该装置包含：若干支支撑杆（3），其分别固定设置在所述加热线路（2）上；所述的支撑杆（3）包含若干依次相连的第一支撑体（31）及若干依次相连的第二支撑体（32），每个所述的第一支撑体（31）分别对应拼接在第二支撑体（32）上。