一种等离子诱导损伤的测试结构

摘要

本实用新型提供一种等离子诱导损伤的测试结构，至少包括：位于同一层且平行排列的多个晶体管器件，所述晶体管器件的衬底电连至第一测试焊垫，所述晶体管的源极电连至第二测试焊垫，所述晶体管器件的漏极电连至第三测试焊垫，所述晶体管器件的栅极与不同层的金属线一一对应电连，每一层的金属线分支成第一子金属线和第二子金属线，其中第一子金属线电连至各自层的天线端，第二子金属线均电连至第四测试焊垫。利用本实用新型的测试结构，可以一次完成所有工艺层的评估和监控，节约测试时间，并且该结构占用面积小，与现有制作工艺兼容，适用于工业化生产。

主权项

一种等离子诱导损伤的测试结构，其特征在于，所述测试结构至少包括：位于同一层且平行排列的多个晶体管器件，所述晶体管器件的衬底电连至第一测试焊垫，所述晶体管器件的源极电连至第二测试焊垫，所述晶体管器件的漏极电连至第三测试焊垫，所述晶体管器件的栅极与不同层的金属线一一对应电连；每一层的金属线分支成第一子金属线和第二子金属线，其中第一子金属线电连至各自层的天线端，第二子金属线均电连至第四测试焊垫。