一种硅片研磨液的搅拌装置

摘要

本发明属于硅片加工技术领域，具体涉及一种硅片研磨液的搅拌装置，包括具有加液口、出液口的搅拌桶体，以及设置在搅拌桶体上对搅拌桶体内进行搅拌的搅拌机构，搅拌机构包括设置在搅拌桶体上的搅拌电机以及联结搅拌电机输出轴的搅拌主轴、设置在搅拌主轴上的多个搅拌叶片，所述每个搅拌叶片的侧壁均开设有凹槽。因此本发明无需人工搅拌、减少劳动强度，且搅拌均匀、完全满足硅片生产要求。

主权项

一种硅片研磨液的搅拌装置，包括具有加液口、出液口的搅拌桶体，以及设置在搅拌桶体上对搅拌桶体内进行搅拌的搅拌机构，其特征在于：所述搅拌机构包括设置在搅拌桶体上的搅拌电机以及联结搅拌电机输出轴的搅拌主轴、设置在搅拌主轴上的多个搅拌叶片，所述每个搅拌叶片的侧壁均开设有凹槽。