液体喷射装置及其制造方法

摘要

本发明提供一种液体喷射装置及其制造方法，包括：基板内设置掺杂层，所述基板上表面与所述掺杂层上表面平齐；基板表面形成弹性膜；所述弹性膜上开设通透至所述基板表面的缝隙；通过所述缝隙在所述基板上的掺杂层内刻蚀形成凹槽；其中，所述弹性膜悬设在所述凹槽上，所述弹性膜在外力作用下能产生弹性变形。本发明技术方案，在基板内设置杂质层，可以防止腐蚀液过多腐蚀基板，控制凹槽的大小，减小液体喷射装置的产品尺寸，提高打印分辨率。

主权项

一种液体喷射装置制造方法，其特征在于，包括：基板内设置掺杂层，所述基板上表面与所述掺杂层上表面平齐；基板表面形成弹性膜；所述弹性膜上开设通透至所述基板表面的缝隙；通过所述缝隙在所述基板上的掺杂层内刻蚀形成凹槽；其中，所述弹性膜悬设在所述凹槽上，所述弹性膜在外力作用下能产生弹性变形。