一种MEMS麦克风

摘要

本申请公开了一种MEMS麦克风，包括：线路板和外壳围成的封装结构以及音孔，封装结构内部设置有固定在线路板上的MEMS DIE传感器以及集成电路ASIC芯片，音孔设置在外壳上；MEMS DIE传感器内腔的开口端朝向音孔的一侧；音孔与传感器内腔开口端之间设置密封通道。本申请公开的MEMS麦克风的音孔设置在壳体上，从而保证在回流焊的过程中，MEMS DIE传感器的腔体内不会进入杂质，且通过将MEMS DIE倒置，使前进音的MEMS MIC的后腔变大，解决了前进音的MEMS MIC产品因为背腔太小，而导致灵敏度与信噪比低的缺点，有效地提升了前进音产品的灵敏度与信噪比。

主权项

一种MEMS麦克风，包括线路板和外壳围成的封装结构以及音孔，所述封装结构内部设置有固定在所述线路板上的MEMS DIE传感器以及集成电路ASIC芯片，其特征在于：所述音孔设置在外壳上；所述MEMS DIE传感器内腔的开口端朝向所述音孔的一侧；所述音孔与所述MEMS DIE传感器的内腔开口端之间设置密封通道。