| 摘要 |
결합층에 의해 제작 기판에 연결된 캐리어 기판으로부터 제작 기판을 박리하기 위한 장치에 있어서, 상기 장치는 필름 프레임; 필름 프레임에 연결되고 가요성 필름의 접촉 표면 섹션에서 제작 기판을 고정하기 위한 접착층을 가지며, 상기 가요성 필름이 접촉 표면 섹션을 둘러싸는 가요성 필름의 부착 섹션에서 필름 프레임에 연결되는 상기 가요성 필름; 뿐만 아니라 필름 프레임과 상기 필름에 의해 특히 가변적 부피로, 결합층을 분리하기 위한 용매를 보유하기 위하여 형성된 용매 저장소, 여기서 제작 기판 및 결합층이 상기 용매 저장소에 수용될 수 있으며; 용매를 용매 저장소에 전달하기 위한 전달 수단; 및 제작 기판을 캐리어 기판으로부터 박리하기 위한 박리 수단에 의해 실시된다. 또한 본 발명은 필름 프레임과 상기 필름 프레임에 연결된 가요성 필름에 의해 형성되며, 결합층을 분리하기 위한 용매를 보유하기 위한 용매 저장소를 형성하고; 뿐만 아니라 제작 기판 및 결합층을 용매 저장소에 고정하고; 그리고 용매를 용매 저장소에 전달하고; 그리고 제작 기판을 캐리어 기판으로부터 박리함으로써, 제작 기판을 캐리어 기판으로부터 박리하는 방법에 관한 것이다. |
