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发明名称 POLISHING COMPOSITION AND POLISHING METHOD
摘要 <p>본 발명의 연마용 조성물은, 폴리옥시에틸렌라우릴에테르 황산암모늄 등의 음이온 계면 활성제, 벤조트라이졸 등의 보호막 형성제, 및 폴리옥시에틸렌알킬에테르 등의 논이온 계면 활성제를 함유한다. 연마용 조성물의 ｐＨ는 2 내지 9이다.</p>
申请公布号 KR101477796(B1) 申请公布日期 2014.12.30
申请号 KR20070077363 申请日期 2007.08.01
申请人 发明人
分类号 C09K3/14 主分类号 C09K3/14
代理机构 代理人
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