| 摘要 |
<p>본 발명은 유리판 연마 시스템에 관한 것으로서, 위치 고정된 가공 대상 유리판을 회전시킬 수 있는 하부 유니트; 유리판에 접촉되어 유리판의 회전에 의해 피동 회전될 수 있는 상부 유니트; 및 상부 유니트를 수평 또는 수직 방향으로 이동시키기 위한 이동 유니트를 구비하는 유리판 연마 시스템에 있어서, 상부 유니트는: 이동 유니트의 스핀들에 고정된 고정 플래터(platter); 고정 플래터에 대해 움직임 가능하게 설치된 연마 플래터; 및 유리판에 가해지는 연마 플래터의 압력의 균일도를 유지하기 위해, 고정 플래터와 연마 플래터 사이에 개재된 가압부재를 구비한다.또한, 본 발명은 유리판 연마 방법을 개시한다.</p> |
