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<p>수차 보정에 상관없이 화질의 저하없는 피사체의 화상을 얻기 위한 보상 광학장치는, 측정대상으로부터의 복귀빔을 분기하는 분기부(106); 상기 분기부로부터 분기된 빔을 사용하여 상기 측정대상에 의해 생긴 수차를 측정하는 수차측정부(115); 상기 수차측정부에 의해 측정된 수차에 근거하여 수차보정을 행하는 수차보정부(108); 상기 수차보정부의 상기 수차보정으로 얻어진 빔을 상기 측정대상(111)에 투사하는 투사부(110); 상기 투사부로부터의 상기 투사된 빔에 의해 얻어진 상기 측정대상으로부터의 복귀빔에 근거하여 상기 측정대상의 상태를 나타내는 값을 취득하는 취득부(114); 및 상기 취득부에서 취득한 값에 근거하여 상기 분기부를 광로로부터 이탈시키는 제어부(118)를 구비한다.</p> |
