| 摘要 |
<p>본 발명은 볼로미터용 바나듐 산화물 박막 제조방법, 볼로미터 제조방법, 및 이들에 의해서 제조된 볼로미터와 적외선 검출 소자에 관한 것으로, 본 발명에 따른 볼로미터용 바나듐 산화물 박막 제조방법은 텅스텐이 첨가된 오산화 이바나듐 졸(Sol)을 형성하는 단계; 상기 졸(Sol)을 이용하여 기판 상에 텅스텐이 첨가된 오산화 바나듐 박막을 형성하는 단계; 및 상기 텅스텐이 첨가된 오산화 바나듐 박막을 환원성 분위기에서 열처리하는 단계;를 포함한다. 상기 제조방법에 의하여 제조된 볼로미터용 바나듐 산화물 박막을 이용하는 것에 의하여 낮은 비저항, 높은 TCR값, 낮은 노이즈 특성과 함께 작동온도 범위에서 우수한 적외선 검출 감도와 향상된 온도 안정성을 갖는 볼로미터 및 이를 포함하는 적외선 검출 소자의 제작이 가능하다.</p> |
