| 摘要 |
<p>본 발명은 제진 대상의 한쪽만을 제진하는 제진 장치에서, 제진 헤드에 대향하는 간단한 구성의 받이부를 추가하고, 인접하는 제진 대상 사이의 간극을 통과하는 분사실로부터의 세정 가스의 흐르는 방향을 바꾼 후에 흡인실에서 흡인하도록 하여, 불필요한 먼지의 비산을 저감하는 제진 장치를 제공한다. 본 발명은, 제진 헤드(100)에 대향하도록 배치되고, 분사실(111)의 분사구(111a)로부터 분사된 세정 가스를 받아서 방향을 전환시키는 받이부(200)를 포함하고, 인접하는 2개의 제진 대상(10) 사이의 간극을 향해 분사실(111)의 분사구(111a)로부터 세정 가스를 분사하고, 받이부(200)에서 방향을 전환시킨 세정 가스를 상류측 흡인실(112)의 흡인구(112a) 및 하류측 흡인실(113)의 흡인구(113a)로부터 흡인하는 제진 장치(1)를 제공한다.</p> |
