发明名称 METHOD OF MANUFACTURING FLEXIBLE METAL SUBSTRATE, FLEXIBLE ELECTRONIC DEVICE AND FLEXIBLE METAL SUBSTRATE USING A CORROSION-RESISTANT MOTHER SUBSTRATE
摘要 <p>본 발명은 플렉서블 금속 기판의 제조방법 등에 관한 것이다. 본 발명에 따른 플렉서블 금속 기판의 제조방법은 도전성이 있는 음극인 모기판 상에 플렉서블 금속 기판을 전기 도금 방식으로 형성하는 플렉서블 금속 기판 형성단계 및 상기 플렉서블 금속 기판을 상기 모기판으로부터 분리시키는 플렉서블 금속 기판 분리단계를 포함하여 구성되고, 상기 모기판과 접촉되어 있던 상기 플렉서블 금속 기판의 분리면은 전자소자 형성면으로 이용되고, 상기 모기판은 산성 도금 용액 또는 염기성 도금 용액에 대해 내부식성을 갖고 있으며, 상기 플렉서블 금속 기판이 형성되는 모기판 면의 표면 거칠기는 AFM(Atomic Force Microscope)을 이용하여 10㎛×10㎛의 스캔 범위로 관측할 때, 0<Rms<100㎚, 0<Rp-v<1000㎚로 조절되는 것을 특징으로 한다.</p>
申请公布号 KR101476746(B1) 申请公布日期 2014.12.29
申请号 KR20110089323 申请日期 2011.09.04
申请人 发明人
分类号 G02F1/1333;G02F1/167;H01L51/50;H05K1/05 主分类号 G02F1/1333
代理机构 代理人
主权项
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