| 摘要 |
1. Устройство обнаружения утечки, включающее в себя:масс-спектрометрическую трубку, выполненную с возможностью обнаружения газа для поиска утечки; итурбомолекулярный насос, который имеет множество ступеней роторов и статоров, поочередно размещенных внутри корпуса, причем роторы прикреплены к вращающемуся валу,и который включает в себя источник привода, выполненный с возможностью приведения во вращение вращающегося вала;причем впускное отверстие турбомолекулярного насоса соединено с испытательным образцом посредством соединительной трубы, при этом устройство обнаружения утечки выполнено с возможностью выполнения обнаружения утечки, побуждая газ для поиска утечки входить в масс-спектрометрическую трубку изнутри испытательного образца, причемвпускное отверстие, сообщающееся с испытательным образцом, и соединительное отверстие, с которым соединена масс-спектрометрическая трубка, открыты в положениях, отстоящих друг от друга на поверхности стенки корпуса, причем поверхность стенки обращена к одному из роторов, который расположен на стороне предельного вакуума.2. Устройство обнаружения утечки по п.1, в котором проводимость между впускным отверстием и соединительным отверстием составляет 1/10 или меньше от эффективной скорости откачки впускного отверстия. |
