| 摘要 |
【課題】低温の焼結温度で使用され、昇温速度の高速化を実現できるヒーターを備えた回転炉床式エレベーター炉を提供する。【解決手段】炉底に開口部を設けた炉本体２０と、昇降する炉床４０と、炉床を昇降させるエレベータ機構３０と、一定速度で回転する炉床回転機構６０と、炉床を上下に往復運動させる炉床上下機構７０とを具備する回転炉床式エレベーター炉において、炉本体に固有抵抗が大きい炭化珪素(ＳｉＣ)ヒーター２２、２４、２６を具備する。炭化珪素(ＳｉＣ)ヒーターは、発熱部がＵ字形で、外径が１６ｍｍ〜３０ｍｍであり、発熱部の外径と接続端部の外径が同一であることが好ましい。【選択図】図１ |
