由含氟的合成石英玻璃制备圆柱形组件的方法

摘要

本发明公开了一种由含氟的合成石英玻璃制备圆柱形组件的方法，包括以下方法步骤：制备SiO₂-烟灰体；从该烟灰体中除去羟基；用氟负载所述烟灰体；使所述负载氟的烟灰体后氯化和使所述烟灰体玻璃化以获得圆柱形组件。为了实现可重复的尤其是氟的轴向和径向特别均匀的分布，根据本发明在干燥时调节烟灰体中的羟基浓度为1-300重量-ppm和在用氟负载时调节至少1500重量-ppm的平均氟含量，并且在后氯化时用氯负载而使得在所述玻璃化之后在所述组件的合成石英玻璃中产生至少50重量-ppm的平均氯含量，进一步的条件是氟含量与氯含量的重量比小于30。

主权项

由含氟的合成石英玻璃制备圆柱形组件的方法，包括以下方法步骤：（a）通过含硅起始化合物的火焰水解或氧化制备烟灰体(3)和将SiO₂ 颗粒沉积到载体(1)上，（b）通过使烟灰体(3)经受脱水处理除去羟基，（c）通过在含氟气氛中在至少750℃的氟化温度下处理所述烟灰体而用氟负载所述烟灰体(3)，（d）通过在含氯气氛中在后氯化温度下处理所述烟灰体而将所述负载氟的烟灰体(3)后氯化，和（e）通过将所述烟灰体加热到玻璃化温度使所述烟灰体(3)玻璃化以获得圆柱形组件，其特征在于：（I）在根据方法步骤(b)的脱水处理中，在所述烟灰体(3)中调节羟基的浓度使得在玻璃化之后产生1重量‑ppm至300重量‑ppm的平均羟基含量，（II）在根据方法步骤(c)用氟负载所述烟灰体(3)的过程中，进行用氟负载使得在玻璃化之后在所述组件的合成石英玻璃中产生至少1500重量‑ppm的平均氟含量，和（III）在根据方法步骤(d)的后氯化过程中，在所述烟灰体(3)中　　· 调节羟基含量使得在玻璃化之后在所述组件的合成石英玻璃中产生小于0.3重量‑ppm的平均羟基含量，和　　· 用氯进行负载使得在玻璃化之后在所述组件的合成石英玻璃中获得至少50重量‑ppm的平均氯含量，进一步的条件是氟含量与氯含量的重量比小于30。