图形化方法

摘要

一种图形化方法，包括：提供基底；在所述基底上形成第一薄膜层；对所述第一薄膜层进行第一刻蚀，刻蚀至所述第一薄膜层下表面，形成多个平行排列的第一条状结构，所述第一条状结构的顶部宽度小于底部宽度，相邻两个第一条状结构之间具有窗口；在所述窗口内填充牺牲层，所述牺牲层的高度小于所述第一条状结构的高度；以所述牺牲层为掩膜，对所述第一条状结构进行第二刻蚀，刻蚀所述第一条状结构至所述第一条状结构下表面，将每一个第一条状结构刻成两个第二条状结构，所述第二条状结构为三棱柱状，所述第二条状结构的高度等于所述牺牲层的高度；去除所述牺牲层，得到预定关键尺寸的条状结构。本图形化方法，能够有效减小图形的关键尺寸。

主权项

一种图形化方法，其特征在于，包括：提供基底；在所述基底上形成第一薄膜层；对所述第一薄膜层进行第一刻蚀，刻蚀至所述第一薄膜层下表面，形成多个平行排列的第一条状结构，所述第一条状结构的顶部宽度小于底部宽度，相邻两个第一条状结构之间具有窗口；在所述窗口内填充牺牲层，所述牺牲层的高度小于所述第一条状结构的高度；以所述牺牲层为掩膜，对所述第一条状结构进行第二刻蚀，刻蚀所述第一条状结构至所述第一条状结构下表面，将每一个第一条状结构刻成两个第二条状结构，所述第二条状结构为三棱柱状，所述第二条状结构的高度等于所述牺牲层的高度；去除所述牺牲层。