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<p>실시 형태의 산화물 초전도체의 제조 방법은, 이트륨 및 란탄족(단 세륨, 프라세오디뮴, 프로메튬, 루테늄을 제외함)으로부터 선택되는 금속, 바륨 및 구리가 혼합된 트리플루오로아세트산염을 포함하는 플루오로카르복실산염을 용해하여, 메탄올을 포함하는 알코올을 용매로 하는 코팅 용액을 조정하는 단계, 코팅 용액에, CFH-(CF)-COOH 또는 HOCO-(CF)-COOH(n, m은 양의 정수)를 균열 방지제로서 첨가하는 단계, 균열 방지제가 첨가된 코팅 용액을 사용하여, 기판 상에 겔막을 형성하는 단계, 겔막에, 3％ 이하의 산소 분압에서, 200℃ 이상으로 되는 공정의 총 시간이 7시간 이하로 되도록 하소를 행하여, 하소막을 형성하는 단계, 하소막에 본소성 및 산소 어닐링을 행하여 산화물 초전도체의 막을 형성하는 단계를 포함한다.</p> |
