| 摘要 |
<p>본 발명은, 경량화에 적합한 조성의 글래스를 사용하여, 화소의 피치 어긋남을 억제 가능한 정도의 열수축률을 갖는 LTPS·TFT용에 적합한 글래스 기판을, 생산성을 저해하지 않고 제조할 수 있는 방법을 제공한다. 개시되는 본 발명은, 플랫 패널 디스플레이용 글래스 기판의 제조 방법이다. 이 방법은, (1) 제조되는 글래스 기판이, SrO 및 BaO의 합량이 8 질량％ 미만이고, 또한 675℃ 이상의 왜곡점을 갖도록 원료를 조합하여 용해시키는 용해 공정과, (2) 용해된 용해 글래스로부터 오버플로우 다운드로우법에 의해 글래스 리본을 성형하는 성형 공정과, (3) 성형된 글래스 리본을 하기의 조건 (A)로 냉각하는 냉각 공정을 갖는다. (A) 서랭점부터 (왜곡점-50℃)의 온도까지의 평균 냉각 속도 : 0.5 내지 5.5℃/초 미만</p> |
