固体摄像器件、电子装置以及该固体摄像器件的制造方法

摘要

本发明涉及一种固体摄像器件、其制造方法以及电子装置。该固体摄像器件包括：半导体基板，具有多个光电二极管以及第一、第二和第三布线部；第一和第二布线部之间的边界；在半导体基板上的第一布线层；以及在第一布线层上的第二布线层，在第二布线层上的第三布线层，其中，在边界附近，第一布线部的第一高度不同于第二布线部的第二高度，第二布线层包括靠近第三布线层并包括遮光膜的上层和靠近第一布线层并包括遮光膜的下层，下层中的遮光膜比上层中的遮光膜更靠近第一和第二布线部之间的边界。

主权项

一种固体摄像器件，其包括：半导体基板，其上具有多个光电二极管，该半导体基板包括第一布线部、第二布线部和第三布线部；所述第一布线部和所述第二布线部之间的边界；在所述半导体基板上的第一布线层，该第一布线层包括多个金属膜并延伸穿过所述第一布线部、所述第二布线部和所述第三布线部；以及在所述第一布线层上的第二布线层，该第二布线层延伸穿过所述第一布线部和所述第二布线部，在所述第二布线层上的第三布线层，该第三布线层延伸穿过所述第一布线部，并包括多个金属膜，其中，在所述边界附近的所述第一布线部的第一高度不同于在所述边界附近的所述第二布线部的第二高度，并且其中，所述第二布线层包括更靠近所述第三布线层并包括遮光膜的上层和更靠近所述第一布线层并包括遮光膜的下层，所述下层中的所述遮光膜比所述上层中的所述遮光膜更靠近所述第一布线部和所述第二布线部之间的边界。