一种多层膜层的中性灰度减光滤镜及其制造装置

摘要

本实用新型提供了一种多层膜层的中性灰度减光滤镜及其制造装置，其包括基片，基片上镀有若干层膜层，膜层包括层叠的减反射膜和金属膜，相邻的两个金属膜间设有至少一层减反射膜，减反射膜的构成材料的折射率大于1.30。多层膜层的中性灰度减光滤镜的制造装置，其包括：真空室，镀膜伞和动力源，所述镀膜伞固定在所述真空室的腔体顶部，所述镀膜伞的旋转轴连接所述动力源，所述真空室的腔体底部设有两个对称分布的镀膜材源，两个所述镀膜材源位于所述镀膜伞下方；修正板固定在所述真空室内，一端位于两个所述镀膜材源同一侧。多层膜层的中性灰度减光滤镜的制造装置还包括挡板，所述挡板上设有多个对称分布的渐变孔，所述渐变孔的截面为叶片形。

主权项

一种多层膜层的中性灰度减光滤镜，其包括基片，其特征在于，所述基片上镀有若干层膜层，所述膜层包括层叠的减反射膜和金属膜，相邻的两个所述金属膜之间设有至少一层所述减反射膜，所述减反射膜的构成材料的折射率大于1.30。