对容器进行等离子体处理的装置和方法

摘要

本发明公开了一种对多个容器进行等离子体处理的装置(9)。所述装置包括：歧管(2)，其包括具有多个出口开口的第一室，以及多个中空导电喷嘴(10)，其用于执行传送或排出等离子体发生气体中的至少一个过程。所述多个中空导电喷嘴连接到所述多个出口开口并且从所述歧管突出。本发明还公开了一种对多个容器进行等离子体处理的方法。所述方法包括：提供包括本文所公开的装置的反应器系统；将所述多个中空导电喷嘴插入所述多个容器(30)中；对所述多个容器进行排气；将所述多个中空导电喷嘴接地同时向所述多个容器施加射频功率；将气体供应到所述容器内部，并且生成等离子体。通过中空导电喷嘴执行排出所述气体或供应所述气体中的至少一个过程。

主权项

一种对多个容器进行等离子体处理的装置，所述装置包括：歧管，其包括具有多个出口开口的第一室；以及多个中空导电喷嘴，其用于执行传送或排出等离子体发生气体中的至少一个过程，其中所述多个中空导电喷嘴连接到所述多个出口开口并且从所述歧管突出，其中所述歧管包括具有第一面和第二面的第一板，其中所述第一室包括在所述第一板的第一面中的第一多个互连通路，所述第一多个互连通路用于将所述多个中空导电喷嘴连接到等离子体发生气体的源或真空源，并且其中所述多个中空导电喷嘴从所述第一板的第二面突出。