| 发明名称 | 捕集机构、排气系统和成膜装置 | ||
| 摘要 | 设置于流过从在被处理体(W)的表面形成薄膜的成膜装置主体(4)排出的排气的排气通路(60)的途中并且通过将排气中所含有的捕集对象气体冷却液化后进行回收的捕集机构(10)，包括：具有气体入口(72A)和气体出口(72B)的壳体(72)；将壳体内划分为多个滞留空间(74A～74C)的划分部件(76)；连通滞留空间彼此的连通路径(78A、78B)；和为了冷却排气而对连通路径进行冷却的冷却套部(80A、80B)。利用该构造，将排气冷却并且使其绝热膨胀，高效地将捕集对象气体冷却并使其液化。 | ||
| 申请公布号 | CN104246007A | 申请公布日期 | 2014.12.24 |
| 申请号 | CN201380017359.3 | 申请日期 | 2013.03.28 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 小森荣一;八木宏宪 |
| 分类号 | C23C16/44(2006.01)I;B01D8/00(2006.01)I;H01L21/205(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/44(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 一种捕集机构，其特征在于：设置于从在被处理体的表面形成薄膜的成膜装置主体排出的排气流过的排气通路的途中，将所述排气中所包含的捕集对象气体冷却而液化来进行回收，所述捕集机构包括：具有气体入口和气体出口的壳体；将所述壳体内划分为多个滞留空间的划分部件；将所述滞留空间彼此连通的连通路径；和为了对所述排气进行冷却而对所述连通路径进行冷却的冷却套部。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||