多段可拆卸喷头式硅烷环及硅烷环防塞多孔喷头

摘要

本发明公开了一种硅烷环防塞多孔喷头，该硅烷环防塞的多孔喷头包括喷头盘本体，所述喷头盘本体与硅烷环的出气口密封配合，所述喷头盘本体上设置有至少一个小于硅烷环的出气口口径的气流出孔。该硅烷环防塞多孔喷头安装后能减少吸附在硅烷环内壁上氮化硅，这样就有效地延长了硅烷环内氮化硅沉积时间，减少了堵塞概率。本发明还公开了一种多段可拆卸喷头式硅烷环，在其第一出气支路管道的第一出气口、所述第二出气支路管道的第二出气口处均设置有本发明所述的硅烷环防塞的多孔喷头，以延长硅烷环的使用寿命，同时其上还设计有多段式结构，来解决硅烷环出口处面临着整体变形带来的不便于更换问题。

主权项

硅烷环防塞多孔喷头，其特征在于，包括喷头盘本体（41），所述喷头盘本体（41）与硅烷环的出气口密封配合，所述喷头盘本体（41）上设置有至少一个小于硅烷环的出气口口径的气流出孔（42）。