一种多晶硅碱化酸化过滤清洗装置

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅碱化酸化过滤清洗装置，包括依次布置的酸液罐、酸洗池、碱液池、碱液罐以及清洗液罐，酸液罐与酸洗池连接，酸洗池的顶部设有酸液板，酸液板的对内朝向面设有若干出酸口；碱液罐与碱液池连接，碱液池的顶部设有碱液板，碱液板的对内朝向面设有若干出碱口，酸洗池与碱液池的顶部设有顶盖，顶盖的内部为空腔结构，顶盖的对内朝向面设有若干清洗口，顶盖与清洗液罐连通。本实用新型既能实现酸洗功能，又能实现碱洗功能，且更具有清洗液清洗功能，大大提高了多晶硅的处理效果。

主权项

一种多晶硅碱化酸化过滤清洗装置，包括依次布置的酸液罐、酸洗池、碱液池、碱液罐以及清洗液罐，其特征在于：酸液罐与酸洗池连接，酸液罐与酸洗池之间设有第一单向阀，酸洗池内设有第一回收槽，第一回收槽的底部中间位置向下凹陷，第一回收槽的中间位置设有第一回收口，第一回收口与酸洗池的内部连通，第一回收槽的顶部两侧设有第一支撑轮，第一支撑轮上设有第一载物板，酸洗池的顶部设有酸液板，酸液板的对内朝向面设有若干出酸口，出酸口呈等间距布置，出酸口与酸洗池的内部连通，酸液板与酸液罐通过酸液管道连通；碱液罐与碱液池连接，碱液罐与碱液池之间设有第二单向阀，碱液池内设有第二回收槽，第二回收槽的底部中间位置向下凹陷，第二回收槽的中间位置设有第二回收口，第二回收口与碱液池的内部连通，第二回收槽的顶部两侧设有第二支撑轮，第二支撑轮上设有第二载物板，碱液池的顶部设有碱液板，碱液板的对内朝向面设有若干出碱口，出碱口呈等间距布置，出碱口与碱液池的内部连通，碱液板与碱液罐通过碱液管道连通；第一载物板为镂空结构，第二载物板为镂空结构，酸洗池与碱液池的顶部设有顶盖，顶盖的内部为空腔结构，顶盖的对内朝向面设有若干清洗口，顶盖与清洗液罐连通。