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发明名称 APPARATUS FOR TESTING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要 <p>이러한 특징에 의하면, 반도체 디바이스 테스트 공정의 온도 조건에 따른 프로브 카드의 열 변형을 최소화하여, 프로브 카드의 탐침자들과 반도체 디바이스 간의 접촉 상태를 일정하게 유지시킬 수 있는 반도체 디바이스 테스트 장치를 제공할 수 있다.</p>
申请公布号 KR101474951(B1) 申请公布日期 2014.12.24
申请号 KR20090013021 申请日期 2009.02.17
申请人 发明人
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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