Vorrichtung und Verfahren zum Ausrichten von induktiv gekoppeltem Plasma

摘要

Ausrichtungsvorrichtung für induktiv gekoppeltes Plasma, umfassend: eine Spule (10) zum Erzeugen eines induktiv gekoppelten Plasmas in einem Gas, wobei die Spule (10) eine erste Achse (100) aufweist; einen Brenner (20), der zumindest teilweise durch die Spule (10) hindurchgeht, wobei der Brenner (20) eine zweite Achse (200) aufweist; und einen Einstellmechanismus (80, 110) zum Einstellen der Position des Brenners (20) in Bezug auf die Spule (10), um die relative Konfiguration der ersten Achse (100) und der zweiten Achse (200) durch Einstellen eines Winkels zwischen der zweiten Achse (200) und der ersten Achse (100) und/oder durch Einstellen eines Abstands zwischen der zweiten Achse (200) und der ersten Achse (100) zu verändern.