一种采用MOPA结构的气体激光器放大系统

摘要

本发明公开了一种采用MOPA结构的气体激光器放大系统，包括主振荡腔(MO)、功率放大腔(PA)、线宽压窄模块(LNM)、输出耦合器(1)、第一反射镜(4)、第二反射镜(5)，气体激光器放大系统还包括第三反射镜(6)和第四反射镜(7)，经由输出耦合器(1)从主振荡腔(MO)输出的种子光由第一反射镜(4)和第二反射镜(5)反射入功率放大腔(PA)中；第三反射镜(6)和第四反射镜(7)分别位于功率放大腔(PA)的外部的两端，并使其反射面垂直于功率放大腔(PA)的长度方向；进入功率放大腔(PA)的种子光在第三反射镜(6)和第四反射镜(7)间多次反射，从第三反射镜(6)的缺口处输出。本发明性能稳定、成本低廉且光路易于调整。

主权项

一种采用MOPA结构的气体激光器放大系统，包括主振荡腔(MO)、功率放大腔(PA)、线宽压窄模块(LNM)、输出耦合器(1)、第一反射镜(4)、第二反射镜(5)，其特征在于：所述气体激光器放大系统还包括第三反射镜(6)和第四反射镜(7)，其中，经由所述输出耦合器(1)从所述主振荡腔(MO)输出的种子光由第一反射镜(4)和第二反射镜(5)反射入所述功率放大腔(PA)中；所述第三反射镜(6)和第四反射镜(7)分别位于所述功率放大腔(PA)的外部的两端，并使其反射面垂直于所述功率放大腔(PA)的长度方向；所述进入功率放大腔(PA)的种子光在所述第三反射镜(6)和第四反射镜(7)间多次反射，从所述第三反射镜(6)的缺口处输出。