| 发明名称 | 衬底的粘合方法和装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种用于粘合第一衬底(2)与第二衬底(2’)的装置，其具有下述特征：用于容纳载体衬底(1)的容器，用于将多个第一衬底(2)放置在载体衬底(1)的背向容器的衬底侧(1s)上的放置装置和用于将每个第一衬底(2)通过衬底侧(1s)固定在每个第一衬底(2)的至少一个固定段(2a)上的固定装置。本发明此外还涉及用于粘合第一衬底(2)与第二衬底(2’)的方法，其具有下述步骤，尤其是下述流程：将多个第一衬底(2)放置在在容器上容纳的载体衬底(1)的衬底侧(1s)上和将每个第一衬底(2)在衬底侧(1s)上固定在每个第一衬底(2)的至少一个固定段(2a)上。 | ||
| 申请公布号 | CN104247000A | 申请公布日期 | 2014.12.24 |
| 申请号 | CN201180076126.1 | 申请日期 | 2011.12.28 |
| 申请人 | EV集团E·索尔纳有限责任公司 | 发明人 | J·布格拉夫 |
| 分类号 | H01L21/68(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/68(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 柯广华;刘春元 |
| 主权项 | 用于粘合第一衬底(2)与第二衬底(2’)的装置，其具有下述特征：‑用于容纳一个载体衬底(1)或多个载体衬底(1)的容器，‑用于将多个第一衬底(2)放置在一个载体衬底(1)或多个载体衬底(1)的背向容器的衬底侧(1s)上的放置装置以及‑用于将每个第一衬底(2)在衬底侧(1s)上固定在每个第一衬底(2)的至少一个固定段(2a)上的固定装置。 | ||
| 地址 | 奥地利圣弗洛里安 | ||