一种钽钌合金靶材及其制备方法

摘要

本发明涉及一种钽钌合金靶材的制备方法，包括依次进行的步骤如下：将氢化钽粉和钌粉混合成混合粉末，将混合粉末装入包套容器中，然后将包套容器封焊，并在包套容器上焊接一个出气管；将包套容器加热进行脱氢；通过出气管对包套容器抽真空，然后将出气管焊死；然后进行热等静压处理；经热等静压处理后去除包套容器，获得高纯钽钌合金钯坯，将高纯钽钌合金靶坯机加工并与背板焊接，即得钽钌合金靶材组件。本发明采用氢化钽粉和钌粉作为原料，混合装入包套后进行脱氢处理，脱氢的同时，由于氢气的还原作用，粉末的氧含量会被降低，这样可以获得纯度更高、氧含量更低的钽钌合金靶坯。另外，本发明通过热等静压处理，获得的钽钌合金靶坯致密度高、晶粒细小。

主权项

一种钽钌合金靶材的制备方法，其特征在于：包括依次进行的步骤如下：（1）、将氢化钽粉和纯度大于等于99.95%的钌粉混合成混合粉末，将所述的混合粉末装入包套容器中，然后将所述的包套容器封焊，并在所述的包套容器上焊接一个出气管；（2）、将所述的包套容器加热到800℃以上进行脱氢；（3）、通过所述的出气管对所述的包套容器抽真空，然后将所述的出气管焊死；（4）、然后进行热等静压处理；（5）、经热等静压处理后去除所述的包套容器，获得晶粒大小为60~110μm、密度大于99.9%的高纯钽钌合金钯坯，将所述的高纯钽钌合金靶坯机加工并与背板焊接，即得所述的钽钌合金靶材。