微型气体传输装置

摘要

本发明关于一种微型气体传输装置，包括：进气板、流道板、共振片及压电致动器；进气板具有至少一进气孔；流道板具有至少一汇流排孔及中心孔洞；共振片具有中空孔洞；压电致动器具有悬浮板、外框及连接于其间的至少一支架，于悬浮板的一表面贴附压电陶瓷板；其振片与压电致动器之间具有一间隙形成的一第一腔室，当压电致动器受驱动时，气体由进气板的进气孔进入，并由流道板的汇流排孔汇集至中心孔洞，经共振片的中空孔洞，以进入第一腔室内，再由压电致动器的支架之间的空隙向下传输，以形成压力梯度流道持续推出气体。

主权项

一种微型气体传输装置，适用于一微型气压动力装置，至少包括：一进气板，具有至少一进气孔，供导入气体；一流道板，具有至少一汇流排孔及一中心孔洞，该汇流排孔对应该进气板的进气孔，且引导该进气孔的气体汇流至该中心孔洞；一共振片，具有一中空孔洞，对应该流道板的中心孔洞；以及一压电致动器，具有一悬浮板及一外框，该悬浮板及该外框之间以至少一支架连接，且于该悬浮板的一表面贴附一压电陶瓷板；其中，上述的进气板、流道板、共振片及压电致动器依序对应堆迭设置定位，且该共振片与该压电致动器之间具有一间隙形成一第一腔室，以使该压电致动器受驱动时，气体由该进气板的该至少一进气孔导入，经该流道板的该至少一汇流排孔汇集至该中心孔洞，再流经该共振片的该中空孔洞，以进入该第一腔室内，再由该压电致动器的该至少一支架之间的一空隙向下传输，以持续推出气体。