发明名称 |
一种聚合物薄膜的制备工艺 |
摘要 |
一种聚合物薄膜的制备工艺,包括(1)预涂布,在载体基板上涂覆聚合物前体溶液形成初体膜;(2)离心厚边调整,旋涂装置使载体基板进行高速离心运动,初体膜厚边部分的溶液在离心过程中被甩出,使载体基板上的初体膜边沿被减薄;(3)将步骤(2)离心厚边调整后初体膜连通载体基板一起固化处理,将固化处理后的薄膜与载体基板分离得到自支撑的成品聚合物薄膜。步骤(1)中的聚合物前体溶液为高粘度溶液,溶液的粘度范围为800cp~20000cp。步骤(2)中离心装置的离心转速为100~10000r/min,离心平台水平度低于5mm/m。本发明能够有效消除高粘度聚合物溶液成膜过程中产生的厚边问题,提高成膜均匀性。 |
申请公布号 |
CN104241448A |
申请公布日期 |
2014.12.24 |
申请号 |
CN201410459728.0 |
申请日期 |
2014.09.10 |
申请人 |
华南理工大学 |
发明人 |
王磊;许志平;邹建华;徐苗;陶洪;彭俊彪 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I;C08J5/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
广州市华学知识产权代理有限公司 44245 |
代理人 |
陈文姬 |
主权项 |
一种聚合物薄膜的制备工艺,其特征在于:包括,(1)预涂布,在载体基板上涂覆聚合物前体溶液形成初体膜;(2)离心厚边调整,将步骤(1)的载体基板连同其上涂覆的初体膜整体转移到旋涂装置,旋涂装置使载体基板进行高速离心运动,初体膜厚边部分的溶液在离心过程中被甩出,使载体基板上的初体膜边沿被减薄;(3)将步骤(2)离心厚边调整后的初体膜连通载体基板一起固化处理,将固化处理后的薄膜与载体基板分离得到自支撑的成品聚合物薄膜。 |
地址 |
510640 广东省广州市天河区五山路381号 |