| 摘要 |
Offenbart sind eine Vorrichtung und Verfahren zur Material- und Wärmebearbeitung von Substraten in einer einzelnen Kammer. In einer Ausführungsform wird ein Kantenring bereitgestellt. Der Kantenring weist einen ringförmigen Körper mit einer Innenumfangskante, einer ersten Fläche und einer der ersten Fläche entgegengesetzten zweiten Fläche auf, ein erstes erhabenes Teil, das sich im Wesentlichen orthogonal von der zweiten Fläche erstreckt, ein zweites erhabenes Teil, das sich von der zweiten Fläche angrenzend an das erste erhabene Teil erstreckt und vom ersten erhabenen Teil durch eine erste Vertiefung getrennt ist, und ein drittes erhabenen Teil, das sich von der zweiten Fläche angrenzend an das zweite erhabene Teil erstreckt und durch eine zweite Vertiefung getrennt ist, wobei die zweite Vertiefung eine schräge Fläche aufweist, die einen Reflexionswert hat, der anders ist als ein Reflexionswert der ersten Fläche. |
