发明名称 半極性窒化物を備え、窒化物核生成層又はバッファ層に特徴を有するデバイス構造
摘要 A method for growing a semi-polar nitride semiconductor thin film via metalorganic chemical vapor deposition (MOCVD) on a substrate, wherein a nitride nucleation or buffer layer is grown on the substrate prior to the growth of the semi-polar nitride semiconductor thin film.
申请公布号 JP5645887(B2) 申请公布日期 2014.12.24
申请号 JP20120158240 申请日期 2012.07.17
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;C23C16/34 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
地址