发明名称 III族窒化物半導体単結晶の製造方法
摘要
申请公布号 JP5644796(B2) 申请公布日期 2014.12.24
申请号 JP20120062268 申请日期 2012.03.19
申请人 发明人
分类号 C30B29/38;C30B19/12 主分类号 C30B29/38
代理机构 代理人
主权项
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