一种扫描近场光学显微镜有源集成探针及其制备方法

摘要

本发明涉及一种扫描近场光学显微镜有源集成探针，从上到下包括LED发光二极管、带纳米小孔的波导和PN光电二极管结构，纳米小孔的波导和PN光电二极管通过微细加工方法构成一体，为悬臂梁结构，波导上的小孔为金字塔探针结构，小孔从波导贯穿并超出下面的PN光电二极管结构，PN光电二极管结构P型部分在上，N型部分在下并不超过小孔位置，小孔末端相对N型部分的距离为5um～10um，LED发光二极管光通过带纳米小孔的波导传输，再经过小孔出射到样品上，PN光电二极管结构接收带有样品表面信息的散射光。与现有技术相比，结构简单，既没有分立的聚焦透镜又没有分立的PMT光电倍增管，克服了集成扫描近场光学显微镜有源集成探针对准困难，体积大的缺点。

主权项

一种扫描近场光学显微镜有源集成探针，其特征在于，从上到下包括LED发光二极管、带纳米小孔的波导和PN光电二极管结构，纳米小孔的波导和PN光电二极管通过微细加工方法构成一体，为悬臂梁结构，波导上的小孔为金字塔探针结构，小孔从波导贯穿并超出下面的PN光电二极管结构，PN光电二极管结构P型部分在上，N型部分在下并不超过小孔位置，小孔末端相对N型部分的距离为5um～10um，LED发光二极管光通过带纳米小孔的波导传输，再经过小孔出射到样品上，PN光电二极管结构接收带有样品表面信息的散射光。