气体纯化器

摘要

本发明是一种气体纯化器，其例如在次大气压下自惰性气体及还原气体移除湿气及氧气。该纯化器可移除气流中百万分之一体积含量的湿气至低于万亿分之100，且具有较低压降及较陡穿透曲线。

主权项

一种气体纯化器，其特征在于，包括：具有流体入口及流体出口的外壳，所述入口及所述出口以流体方式连接至含于所述外壳中且自惰性气体及还原气体移除湿气及氧气的纯化器床，所述纯化器床包含：包含大孔隙质量转移限制分子筛的第一材料床，其自所述惰性气体及所述还原气体移除湿气，所述等分子筛具有小于0.7毫米±20％的最大尺寸；及包含载体载金属催化剂的第二材料床，其自所述惰性气体及所述还原气体移除氧气，所述金属催化剂在室温下通过所述还原气体至少部分地再生为还原形式。