发明名称 |
大容量多晶硅铸锭炉的加热装置 |
摘要 |
本实用新型公开一种大容量多晶硅铸锭炉的加热装置,其设置于炉体内的坩埚周围,该加热装置经过石墨电极、铜电极与变压器相连,该加热装置包括顶部加热器、侧部加热器和底部加热器,所述顶部加热器位于坩埚上方,所述侧部加热器位于坩埚四周,所述底部加热器位于坩埚下方。通过在大容量多晶硅铸锭炉采用顶部、侧部和底部六面加热的方式,提高了加热效率,缩短了加热时间,且加热均匀。 |
申请公布号 |
CN204039546U |
申请公布日期 |
2014.12.24 |
申请号 |
CN201420422698.1 |
申请日期 |
2014.07.29 |
申请人 |
深圳市石金科技有限公司 |
发明人 |
李文红;朱佰喜;侯振华;南志华;冯太强;翟雨佳;高晗 |
分类号 |
C30B29/06(2006.01)I;C30B28/06(2006.01)I |
主分类号 |
C30B29/06(2006.01)I |
代理机构 |
深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 |
代理人 |
胡海国;赵爱蓉 |
主权项 |
一种大容量多晶硅铸锭炉的加热装置,其设置于炉体内的坩埚周围,其特征在于,该加热装置经过石墨电极、铜电极与变压器相连,该加热装置包括顶部加热器、侧部加热器和底部加热器,所述顶部加热器位于坩埚上方,所述侧部加热器位于坩埚四周,所述底部加热器位于坩埚下方。 |
地址 |
518000 广东省深圳市宝安区松岗街道同富裕工业区安润路2号 |