| 摘要 |
<p>제 1 부분과 제 2 부분을 갖는 제 1 연장 블록이 달린 가스 패널을 갖는 적응성 가스 전달 장치에서, 혼합 밸브와 기판 사이에 위치되는 제 1 부분은 펌프/퍼지 매니폴드와 유체 소통되는 출구 포트를 가지며, 제 2 연장 블록은 제 1 부분과 제 2 부분을 가지고, 퍼지 밸브와 기판 사이에 위치되는 제 1 부분은 혼합 밸브와 유체 소통되는 배출 포트를 가지며, 제 1 및 제 2 연장 블록의 제 2 부분은 가스 패널로부터 바깥쪽으로 연장된다.</p> |
