| 摘要 |
<p>본 발명은 액정표시장치용 어레이 기판의 제조 방법에 있어서, 게이트 전극 형성 단계는 기판 상에 구리계 금속막을 형성한 후 식각액 조성물로 식각하여 게이트 배선을 형성하는 공정을 포함하며, 소스 및 드레인 전극을 형성하는 단계는 구리계 금속막을 형성한 후 식각액 조성물로 식각하여 소스 및 드레인 전극을 형성하는 공정을 포함하며, 상기 식각액 조성물은, 조성물의 총 중량을 기준으로 과산화수소(HO) 5 내지 25 중량%; 유기산 0.1 내지 5 중량%; 인산염 화합물 0.1 내지 5 중량%; 수용성 시클릭 아민 화합물 0.1 내지 5 중량%; 한 분자 내에 질소원자와 카르복실기를 갖는 수용성 화합물 0.1 내지 5 중량%; 함불소 화합물 0.01 내지 1.0 중량%; 아세테이트염 화합물 0.1 내지 5.0 중량% 및 잔량의 물을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 어레이 기판의 제조 방법; 상기 식각액 조성물; 및 상기 식각액 조성물을 사용하는 구리계 금속막의 식각방법에 관한 것이다.</p> |
