发明名称 磁传感器及其制造方法
摘要 本发明提供磁传感器及其制造方法。所述磁传感器包括:包括多个霍尔元件的衬底、形成在衬底上的保护层、形成在保护层上的基础层、以及形成在基础层上的包括具有凸起部的表面的磁集极(IMC)。基础层具有比IMC大的截面面积。
申请公布号 CN104237812A 申请公布日期 2014.12.24
申请号 CN201310388598.1 申请日期 2013.08.30
申请人 美格纳半导体有限公司 发明人 柳升翰;郑锺烈;金官洙
分类号 G01R33/07(2006.01)I;H01L43/06(2006.01)I;H01L43/14(2006.01)I 主分类号 G01R33/07(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 顾晋伟;全万志
主权项 一种磁传感器,包括:包括有多个霍尔元件的衬底;形成在所述衬底上的保护层;形成在所述保护层上的基础层;以及形成在所述基础层上并且包括具有凸起部的表面的磁集极(IMC),其中所述基础层具有比所述IMC大的截面面积。
地址 韩国忠清北道