电镀装置

摘要

本发明提供一种电镀装置，在使用能够绕垂直轴水平旋转的电镀槽的电镀装置中，能够改善电镀装置的复杂化，并能够在多个被电镀物形成均匀的电镀层。电镀装置具备：能够绕垂直轴水平旋转的电镀槽；配设于该电镀槽内周部的阴极；以及设置于上述电镀槽内的部的阳极，上述电镀槽的内周部由倾斜部和圆筒部构成，上述倾斜部从圆盘状的底部开始以扩张上述底部的方式连续，上述圆筒部与该倾斜部连接，电镀槽上表面由与上述底部平行的平板状的上盖覆盖。

主权项

一种电镀装置，所述电镀装置具备：电镀槽，该电镀槽能够绕垂直轴水平旋转；阴极，该阴极配设于所述电镀槽内周部；以及阳极，该阳极设置于所述电镀槽内的中央部，所述电镀装置的特征在于，所述电镀槽的内周部由倾斜部和圆筒部构成，所述倾斜部从圆盘状的底部开始以扩张所述底部的方式连续，所述圆筒部与所述倾斜部连接，电镀槽上表面由与所述底部平行的平板状的上盖覆盖，在所述上盖的中央部形成有开口部，在该开口部连接有圆筒部件，以防止旋转时电镀液的飞散。