发明名称 |
一种薄膜晶体管及相应的制备方法、显示基板和显示装置 |
摘要 |
本发明公开了一种薄膜晶体管,该薄膜晶体管包括:金属保护层,形成于有源层的上表面;源漏电极,形成于金属保护层的上表面;连接阻挡层,由金属保护层形成。本发明同时还公开了一种薄膜晶体管的制备方法及相应的显示基板和显示装置。本发明利用金属保护层来保护有源层,同时形成连接阻挡层以阻挡源漏电极与金属保护层之间的电性连接。采用本发明,能够简化薄膜晶体管的制备过程,节省制备工序,降低制作成本。 |
申请公布号 |
CN104241394A |
申请公布日期 |
2014.12.24 |
申请号 |
CN201410437600.4 |
申请日期 |
2014.08.29 |
申请人 |
京东方科技集团股份有限公司 |
发明人 |
张立;王美丽;刘凤娟 |
分类号 |
H01L29/786(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/786(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
宋焰琴 |
主权项 |
一种薄膜晶体管,其特征在于,该薄膜晶体管包括:有源层(4)、金属保护层(5)、连接阻挡层(7)和源漏电极(6),其中:所述金属保护层(5)形成于所述有源层(4)的上表面;所述源漏电极(6)形成于所述金属保护层(5)的上表面;所述连接阻挡层(7)由所述金属保护层(5)形成。 |
地址 |
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 |