微机械加速度计温度系统的测试与标定方法

摘要

提供一种微机械加速度计温度系统的测试与标定方法，根据其工作原理和技术特点，通过试验和拟合计算得到用于温度补偿的数学模型，进而在系统应用时提高微机械加速度计性能和环境适应性。采用本发明操作简单可靠，拟合精度高，可间接有效地解决微机械加速度计输出受温度影响变化大的问题，拓展微机械加速度计的工程应用范围。

主权项

微机械加速度计温度系统的测试与标定方法，其特征在于包含下述步骤：1)开启温箱，设定温度75℃，当温度达到75℃±0.5℃时，恒温1h，然后微机械加速度计通电，进行四位置测试并记录其偏值K₀、标度因数K₁和温度值；2)微机械加速度计断电；3)降温至65℃，恒温1h，微机械加速度计通电测试并记录K₀、K₁和温度值，断电；4)按上述方法，逐次测试并记录55℃、45℃、35℃、25℃、15℃、5℃、0℃、‑5℃、‑15℃、‑25℃、‑35℃和‑45℃环境下偏值K₀、标度因数K₁和温度值；5)升温，逐次测试并记录‑45℃、‑35℃、‑25℃、‑15℃、‑5℃、0℃、5℃、15℃、25℃、35℃、45℃、55℃、65℃和75℃环境下偏值K₀、标度因数K₁和温度值；6)分别计算降温和升温过程中同一温度值下的偏值K₀、标度因数K₁的平均值；7)温度系数标定：对试验数据进行三阶非线性拟合，确定微机械加速度计的拟合模型参数，然后对各项温度系数进行标定。