一种基于MEMS微镜的光学扫描装置

摘要

本发明公开了一种基于MEMS微镜的光学扫描装置。本发明的光学扫描装置包括：光学准直器和MEMS微镜，光源发出的入射光线经光学准直器准直后，由MEMS微镜反射；光源与MEMS微镜之间的光路上设置有一反射镜；该反射镜的中间部分中空或透明，可供入射光线正常通过；该反射镜的外圈为反射镜面，将MEMS微镜反射的光线反射至扫描样本。本发明有效扩展了扫描范围，并可通过反射镜镜面的设计，实现侧向圆周扫描和前向圆周扫描。相比现有技术，本发明具有更广的扫描范围，且结构简单，实现成本低廉。

主权项

一种基于MEMS微镜的光学扫描装置，包括：光学准直器和MEMS微镜，光源发出的入射光线经光学准直器准直后，由MEMS微镜反射；其特征在于，光源与MEMS微镜之间的光路上设置有一反射镜；该反射镜的中间部分中空或透明，可供入射光线正常通过；该反射镜的外圈为反射镜面，可将MEMS微镜反射的光线反射至位于入射光线侧向的扫描样本；所述反射镜外圈的反射镜面整体为一个锥口指向MEMS微镜的半圆锥形，且该反射镜基底为机械磨制或者使用模具浇铸而成；或者，所述反射镜外圈的反射镜面整体包括至少两个同轴的半圆锥形，其中，外圈的半圆锥形锥口指向MEMS微镜；或者，所述反射镜外圈的反射镜面整体为由两个平行平面对椭球体进行切割得到的部分椭球体，两个平行平面平行于椭球体的长轴或短轴，所述椭球体的中心位于靠近所述光源一侧；或者，所述反射镜外圈的反射镜面整体为方形漏斗状，漏斗口部指向MEMS微镜。