发明名称 |
具有局部背接触的太阳能电池的制造方法 |
摘要 |
本发明涉及具有背接触和钝化发射极的太阳能电池(1)的制造方法,该太阳能电池包括至少两层的电介质叠层(10),该至少两层的电介质叠层(10)至少包括与p型硅层(3)接触的AlOx的第一电介质层(11)和沉积在第一电介质层(11)上的第二电介质层(13)。此外,该制造方法包括优选通过激光烧蚀在该电介质叠层(10)中形成至少一个局部开口(15)的形成步骤,至少部分保留前述第一电介质层。 |
申请公布号 |
CN104247033A |
申请公布日期 |
2014.12.24 |
申请号 |
CN201280049697.0 |
申请日期 |
2012.10.05 |
申请人 |
IMEC公司;道达尔销售服务公司;勒芬天主教大学K.U.勒芬R&D |
发明人 |
P.嘉弗伦诺;J.达思;A.尤鲁纳德卡斯特罗 |
分类号 |
H01L31/0216(2014.01)I;H01L31/0224(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;H01L31/061(2012.01)I;H01L21/268(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/0216(2014.01)I |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 11105 |
代理人 |
焦玉恒 |
主权项 |
具有局部背接触的太阳能电池(1)的制造方法,该太阳能电池包括至少两层的电介质叠层(10),该至少两层的电介质叠层(10)至少包括与p型硅层(3)接触的AlOx的第一电介质层(11)和沉积在第一电介质层(11)上的第二电介质层(13),其特征在于,该方法包括在该电介质叠层(10)中形成至少一个局部开口(15)的步骤,在该局部开口的位置至少部分保留所述第一电介质层(11)。 |
地址 |
比利时勒芬 |