DEPOSITION APPARATUS CONTAINING MOVING DEPOSITION SOURCE

摘要

진공 챔버 내에서 피코팅물의 표면에 박막을 증착시키는 증착 장치에 있어서, 증착 장치는, 상기 박막을 형성시키기 위한 물질을 공급하는 증착원; 상기 증착원에 냉각수, 전원, 및 공정가스 중 적어도 어느 하나 이상을 공급하는 공급유닛; 및 진공 챔버 내에서 증착원을 이동시키는 이동유닛을 포함할 수 있다.