一种跨骑型异质结共振隧穿场效应晶体管及其制备方法

摘要

本发明公布了一种跨骑型异质结共振隧穿场效应晶体管及其制备方法，该器件包括隧穿源区，沟道区，漏区和位于沟道上方的控制栅，其中，隧穿源区与沟道区的异质隧穿结的能带结构为跨骑型异质结。若为N型器件则在隧穿源区与沟道区的异质隧穿结交界面处，隧穿源区导带底位于沟道区导带底的上方，隧穿源区价带顶位于沟道区价带顶下方；若为P型器件则隧穿源区导带底位于沟道区导带底的下方，隧穿源区价带顶位于沟道区价带顶上方。本发明可显著提高隧穿场效应晶体管的开态电流，同时保持较陡直的亚阈值斜率。其制备工艺简单有效，极大降低生产成本。

主权项

一种跨骑型异质结共振隧穿场效应晶体管，包括隧穿源区，沟道区，漏区和位于沟道上方的控制栅，其特征是，在所述隧穿源区与沟道区的交界面处形成异质隧穿结，所述异质隧穿结的能带结构为跨骑型异质结。