提升磁材料性能的方法、磁传感装置的制备方法

摘要

本发明揭示了一种提升磁材料性能的方法、磁传感装置的制备方法，所述磁传感装置的制备方法包括：在基底上依次沉积多层绝缘介质层，其中，最后沉积的一层绝缘介质层厚度小于50纳米，具有非晶结构，在该绝缘介质层上设置磁材料，提升材料磁性能。所述方法还包括在磁材料薄膜上设立一层或者多层的保护层材料，与磁材料直接接触的保护层材料具有高电阻或者具有非晶的结构。本发明在提升AMR等磁材料磁性能的同时又不影响器件制造工艺，不引入新的工艺和材料，有助于提升器件的性能和竞争力。

主权项

一种提升磁材料性能的方法，其特征在于，所述方法包括：在基底上依次沉积多层绝缘介质层，其中，最后沉积的一层绝缘介质层厚度小于100纳米，具有非晶结构，在该介质层上设置磁材料，通过上述最后沉积的一层绝缘介质层与磁材料接触提升材料磁性能。