排气泵的堆积物感测装置以及排气泵

摘要

本发明提供一种不使流过气体的设备的设置或装置的操作模式的追加、变更等的负担产生就能容易地实施的排气泵的堆积物感测装置。具有：单元（52），检测对旋转体进行旋转驱动的电动机的电动机电流值；电流值存储部（103），仅存储检测出的电动机电流值中的设定值以上的电动机电流值；平均值计算部（104），对所存储的电动机电流值的每单位时间的平均值进行计算；平均值存储部（105），对计算出的平均值进行存储；近似线计算部（106），将所记录的平均值按照时间序列进行排列，对该平均值求取一次近似线；以及差分值计算部（108），对使用一次近似线来计算出的预测电动机电流值与在排气泵的使用开始时的初始电动机电流值的差分值进行求取，以将所述差分值超过预先设定的阈值的时间点判定为排气泵的保养时期的方式构成。

主权项

一种排气泵的堆积物感测装置，所述排气泵通过旋转体的旋转动作来对气体进行排气，所述堆积物感测装置的特征在于，具有：单元，检测对所述旋转体进行旋转驱动的电动机的电动机电流值；电流值存储部，在稳态旋转模式时，仅存储所述电动机电流值中的设定值以上的所述电动机电流值；平均值计算部，对在该电流值存储部中存储的所述电动机电流值的每单位时间的平均值进行计算；以及平均值存储部，对在该平均值计算部中计算出的所述平均值进行存储，还具有：近似线计算部，将在该平均值存储部中存储的存储电流平均值按照时间序列进行排列，对该存储电流平均值求取一次近似线；以及差分值计算部，对使用该一次近似线来计算出的预测电动机电流值与在所述排气泵的使用开始时的初始电动机电流值的差分值进行求取，以将所述差分值超过预先设定的阈值的时间点判定为所述排气泵的保养时期的方式构成。